真空系統(tǒng)用真空插板閥設(shè)計規(guī)范

本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，針對工件通孔口徑較小的真空室，提供一種密封性好、所占空間小、加工和日常維護都較方便的真空系統(tǒng)用的真空插板閥。本發(fā)明的技術(shù)方案為一種真空系統(tǒng)用的真空插板閥，包括驅(qū)動元件、閥體、閥芯和下清潔蓋板，閥體為中空的長方體結(jié)構(gòu)，閥體的左右兩側(cè)壁分別與位于其兩側(cè)的真空室固定連接，閥體的左右兩側(cè)壁上分別開有閥體通孔，閥體通孔與位于閥體兩側(cè)的真空室內(nèi)的工件通孔相通，閥芯設(shè)于閥體內(nèi)部，驅(qū)動元件末端穿過閥體頂部并與閥芯頂部固定連接， 下清潔蓋板設(shè)于閥體底部。所述驅(qū)動元件與閥體頂部相接處設(shè)有密封件，可有效提高驅(qū)動元件運行的可靠性和閥體內(nèi)部的密封性。根據(jù)實際需要，閥芯及閥體中部空間的結(jié)構(gòu)形式主要有2種下清潔蓋板設(shè)于閥底通孔下方。所述閥芯的第三側(cè)面和第四側(cè)面上還分別開有設(shè)置密封圈用的密封槽，在閥芯和閥體之間增設(shè)密封圈，可更好地提高其密封效果。

真空系統(tǒng)用真空插板閥設(shè)計規(guī)范

  　　真空插板閥的工作原理是閥通過閥桿的左右或上下運動，將閥板與閥座壓緊實現(xiàn)密封。驅(qū)動閥桿運動的方式有手動、電動、氣動三種。手動是通過手輪的旋轉(zhuǎn)，帶動閥桿和閥桿上的螺母或四桿連動式的閥桿使閥板運動。

　　手、電兩用的傳動部件由直流電動機、齒輪箱組成。電動操作時，電動機按某一方向（如關(guān)閉方向）旋轉(zhuǎn)，并通過傳動部件使四桿連動式的閥桿往復(fù)運動。當閥板進入與閥座密封部位時，閥板靠板式彈簧部件的作用，使閥板壓緊。

　　此時裝有行程開關(guān)而自動切斷電源，運動立即停止。反之，若需打開閥門時，只需按反轉(zhuǎn)電鈕即可。手動時，只需松開手輪背帽，按一定方向用手轉(zhuǎn)動手輪即可。手、電兩用的超高真空插板閥外形圖。該閥結(jié)構(gòu)合理，閥板與閥體密封時漏氣速率小于1×10-7Pa·L/s；閥門總漏氣速率小于5×10-8Pa·L/s；閥板開啟時閥體烘烤溫度小于150℃；手動裝置允許受熱溫度小于65℃；工作穩(wěn)定可靠，操作方便；可遠距離控制。氣動驅(qū)動部件以壓縮干燥空氣為動力，通過電磁換向閥使氣動部件帶動傳動裝置，使閥門往復(fù)運動實現(xiàn)啟閉作用，達到密封的目的。

真空系統(tǒng)用真空插板閥設(shè)計規(guī)范有高真空插板閥和超高真空插板閥兩種。

　　1、高真空插板閥主要用于高真空系統(tǒng)中接通或截止氣流，可安裝在被抽真空容器（真空室）與真空泵之間；或用于在半連續(xù)真空作業(yè)的進出料容器上。使用溫度為-20～80℃，不適用于對黑色金屬有腐蝕性或含顆粒狀物灰塵的氣體。

　　2、超高真空插板閥主要用于超高真空系統(tǒng)中接通或截止氣流。適用的介質(zhì)為潔凈的空氣或非腐蝕性氣體；適用溫度在閥門開啟時，閥體允許烘烤溫度小于150℃。

　　由于真空插板閥具有流導(dǎo)大，密封性能好，放氣率低，體積小，結(jié)構(gòu)緊湊、合理，操作方便，安裝位置可任意選擇等一系列優(yōu)點，因此真空插板閥廣泛用于中、大型高真空、超高真空裝置的真空系統(tǒng)中。

真空系統(tǒng)用真空插板閥設(shè)計規(guī)范的形式和性能參數(shù)

　　1、高真空插板閥的形式與基本參數(shù)，已有行業(yè)標準（JB/T 4077—91）。該標準規(guī)范的高真空插板閥的形式和基本參數(shù)，適用于1.3×10-5～1.0×105Pa真空系統(tǒng)中用來開啟或隔斷氣流的插板閥。開啟閥門時，閥板兩側(cè)的壓差應(yīng)小于或等于2.7kPa。

　　2、我國生產(chǎn)的超高真空插板閥有手動（CC型）、氣動（CCQ型）和電動（CCD型）三種。適用于介質(zhì)為清潔空氣及非腐蝕性氣體的超高真空系統(tǒng)中切斷或接通氣流。其中GC型系列高真空插板閥是以螺桿傳動來推動鋼球運動，撐開閥板關(guān)閉，又靠彈簧力收攏閥板打開的高真空閥門；GCQ系列以壓縮空氣為動力推動鋼球運動，實現(xiàn)閥門的開啟和關(guān)閉。

真空系統(tǒng)用真空插板閥設(shè)計規(guī)范

　　這兩種閥的材料為不銹鋼，漏氣速率不超過1.3×10-7Pa·L/s。GCD型系列閥門形式同CCD型超高真空插板閥，只是連接法蘭按高真空法蘭由刀口金屬密封結(jié)構(gòu)改為丁腈橡膠圈密封結(jié)構(gòu)；閥體閥板材料可為不銹鋼或碳鋼鍍鎳，閥板密封件材料為丁腈橡膠。適用范圍為1.3×104～105Pa。

上述的結(jié)構(gòu)，所述密封板在驅(qū)動機構(gòu)的作用下在閥體內(nèi)徑向移動至進出口處，軸 向向下移動至出口端，設(shè)置于密封板下端的密封圈與所述出口端的連接法蘭接觸密 封，所述插板閥關(guān)閉，開啟過程相反，首先密封板軸向向上移動，所述密封圈與所述出 口端的連接法蘭脫離，徑向移動至密封板離開所述進出口位置；在上述的開啟及關(guān)閉過程 中，由于與所述的密封圈對應(yīng)位置的密封板內(nèi)的水冷通道內(nèi)部通過軟體進出水管有冷 卻介質(zhì)流動，因此，有效降低了密封圈的溫度，所述軟體進出水管設(shè)置在閥體內(nèi)，并隨 所述密封板的移動而在所述閥體內(nèi)移動，不影響動密封配合，確保了動密封的良好密封性能同時延長了密封圈的使用壽命。